ΑΔΑ 4ΙΦ3469ΗΕΒ-Ε, 3/12/2010.
Είδος πράξης: ΚΑΝΟΝΙΣΤΙΚΗ ΠΡΑΞΗ.
«Έγκριση αμοιβής στα πλαίσια του Ερευνητικού Προγράμματος / Έργου «nanoPLASMA – Plasma Etching for desired nano-Feature shape and nano-texture: An Advanced Reactor and Simulation Software for Feedback-Loop Plasma Control» ΕΕ 1327.
Φορέας: ΕΚΕΦΕ ΔΗΜΟΚΡΙΤΟΣ
Το πρωτότυπο έγγραφο στη Διαύγεια